022-84998068
產品詳情
ESC靜電卡盤電源
產品特點
1.電源寄存能量低，內置電流限製和保護電路設計使設備免受浪湧和電弧的損害。
2.通過輸出極性轉換，降低了夾盤上電荷的風險。
3.短路和開路設計增加了設備的可靠性。
4.突出的夾緊性能使本產品更適用於半導體晶片生產過程中。
應用對象
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ESC靜電卡盤電源
產品特點
1.電源寄存能量低，內置電流限製和保護電路設計使設備免受浪湧和電弧的損害。
2.通過輸出極性轉換，降低了夾盤上電荷的風險。
3.短路和開路設計增加了設備的可靠性。
4.突出的夾緊性能使本產品更適用於半導體晶片生產過程中。
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