全球半导体产业风向标 ——SEMICON CHINA 2026在上海圆满落幕。作为国内产业链高度集中的行业盛会,本届展会汇聚全球超千家展商,聚焦先进制程、设备国产化等关键方向,成为技术落地与生态协同的核心舞台。吉兆源科技携射频电源、射频匹配器、微波电源、远程等离子体源(RPS) 等核心产品重磅参展,以稳定可靠的工业级性能、自主可控的核心技术与全场景适配能力,成为现场备受关注的本土核心设备部件供应商,充分展现了其在等离子体电源领域的实力。

吉兆源科技自2005年组建以来,深耕射频电源、微波电源及等离子体核心部件研发与生产,拥有北京、天津、成都等多处研发与生产中心,构建从设计、制造到服务的全链条体系。
公司以打破国外垄断、实现关键部件国产化为使命,长期聚焦半导体刻蚀、PECVD、ICP、等离子清洗、高端镀膜、键合封装等场景,为晶圆制造、先进封装、半导体装备提供高稳定、高精度、高可靠性的电源与等离子体解决方案,产品通过多家设备验证,性能对标国际一线品牌。
本次展会,吉兆源科技集中展示面向先进工艺的主力产品矩阵,以技术亮点与工程化能力赢得专业观众高度认可。
一、射频电源:半导体设备的 “稳定心脏”
作为公司核心主力,SEMI射频电源系列、HA射频电源系列、TI 多级脉冲射频电源系列,覆盖多频段与功率段,具备功率输出精度高、稳定性强、可重复性好等优势。同时电源支持连续波与多级脉冲模式,适配刻蚀、薄膜沉积等严苛工艺;工业级设计满足设备连续运行,适配大规模产线量产需求。产品已广泛应用于刻蚀机、PECVD、去胶机、等离子清洗机等关键设备,是半导体装备国产化的核心动力单元。
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| SEMI射频电源系列 | HA射频电源系列 | TI多级脉冲电源系列 |
二、微波电源:大功率***能,突破高端应用
吉兆源微波电源聚焦915MHz、1.3GHz、2.45GHz等主流频段,推出高功率至75kW系列产品,具备节能、输出纯净、控温精准、长期可靠性等特点。产品适配金刚石、半导体先进工艺、材料表面处理等高要求场景;同时满足高端装备对大功率、高稳定性微波源的刚性需求。
三、远程等离子体源(RPS):高洁净工艺的关键利器
微波远程等离子体源(RPS)是先进清洗、刻蚀、去胶等工艺的核心部件,吉兆源采用自主匹配技术 ,实现高浓度、高均匀性等离子体远程激发。产品支持 O₂、N₂、H₂等多气体工艺,适配先进制程洁净要求;产品以技术立身,以品质致远,加速国产替代进程。
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| 微波RPS系列 | 射频RPS系列 |
在SEMICON现场,吉兆源科技与众多晶圆厂、设备厂商、科研机构深度交流,众多客户现场达成合作意向与测试验证计划,充分印证市场对其技术与产品的高度认可。

从研发突破到批量交付,从单点产品到完整解决方案,吉兆源科技始终坚持自主研发、品质优先,以射频电源、微波电源、远程等离子体源为核心,构建覆盖半导体全领域的产品生态。
未来,吉兆源科技将继续以技术引领、品质可靠为理念,与产业伙伴携手同行,在核心设备部件国产化道路上稳步前行,为半导体产业高质量发展持续贡献力量。


SEMICON CHINA虽已落幕,但吉兆源科技创新与奋进的脚步从未停歇。此次参展的成功,不仅展示了吉兆源在等离子体领域的深厚积累,更彰显了吉兆源科技的责任与担当。
期待与您在下一场盛会再次相遇!
全球半导体产业风向标 ——SEMICON CHINA 2026在上海圆满落幕。作为国内产业链高度集中的行业盛会,本届展会汇聚全球超千家展商,聚焦先进制程、设备国产化等关键方向,成为技术落地与生态协同的核心舞台。吉兆源科技携射频电源、射频匹配器、微波电源、远程等离子体源(RPS) 等核心产品重磅参展,以稳定可靠的工业级性能、自主可控的核心技术与全场景适配能力,成为现场备受关注的本土核心设备部件供应商,充分展现了其在等离子体电源领域的实力。

吉兆源科技自2005年组建以来,深耕射频电源、微波电源及等离子体核心部件研发与生产,拥有北京、天津、成都等多处研发与生产中心,构建从设计、制造到服务的全链条体系。
公司以打破国外垄断、实现关键部件国产化为使命,长期聚焦半导体刻蚀、PECVD、ICP、等离子清洗、高端镀膜、键合封装等场景,为晶圆制造、先进封装、半导体装备提供高稳定、高精度、高可靠性的电源与等离子体解决方案,产品通过多家设备验证,性能对标国际一线品牌。
本次展会,吉兆源科技集中展示面向先进工艺的主力产品矩阵,以技术亮点与工程化能力赢得专业观众高度认可。
一、射频电源:半导体设备的 “稳定心脏”
作为公司核心主力,SEMI射频电源系列、HA射频电源系列、TI 多级脉冲射频电源系列,覆盖多频段与功率段,具备功率输出精度高、稳定性强、可重复性好等优势。同时电源支持连续波与多级脉冲模式,适配刻蚀、薄膜沉积等严苛工艺;工业级设计满足设备连续运行,适配大规模产线量产需求。产品已广泛应用于刻蚀机、PECVD、去胶机、等离子清洗机等关键设备,是半导体装备国产化的核心动力单元。
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| SEMI射频电源系列 | HA射频电源系列 | TI多级脉冲电源系列 |
二、微波电源:大功率***能,突破高端应用
吉兆源微波电源聚焦915MHz、1.3GHz、2.45GHz等主流频段,推出高功率至75kW系列产品,具备节能、输出纯净、控温精准、长期可靠性等特点。产品适配金刚石、半导体先进工艺、材料表面处理等高要求场景;同时满足高端装备对大功率、高稳定性微波源的刚性需求。
三、远程等离子体源(RPS):高洁净工艺的关键利器
微波远程等离子体源(RPS)是先进清洗、刻蚀、去胶等工艺的核心部件,吉兆源采用自主匹配技术 ,实现高浓度、高均匀性等离子体远程激发。产品支持 O₂、N₂、H₂等多气体工艺,适配先进制程洁净要求;产品以技术立身,以品质致远,加速国产替代进程。
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| 微波RPS系列 | 射频RPS系列 |
在SEMICON现场,吉兆源科技与众多晶圆厂、设备厂商、科研机构深度交流,众多客户现场达成合作意向与测试验证计划,充分印证市场对其技术与产品的高度认可。

从研发突破到批量交付,从单点产品到完整解决方案,吉兆源科技始终坚持自主研发、品质优先,以射频电源、微波电源、远程等离子体源为核心,构建覆盖半导体全领域的产品生态。
未来,吉兆源科技将继续以技术引领、品质可靠为理念,与产业伙伴携手同行,在核心设备部件国产化道路上稳步前行,为半导体产业高质量发展持续贡献力量。


SEMICON CHINA虽已落幕,但吉兆源科技创新与奋进的脚步从未停歇。此次参展的成功,不仅展示了吉兆源在等离子体领域的深厚积累,更彰显了吉兆源科技的责任与担当。
期待与您在下一场盛会再次相遇!