022-84998068
產品詳情
產品性能
該射頻電源整體結構緊湊，設計體積更小便於安裝。設計采用固態設計使產品性價比更高、可靠性更強。
功率：600W/1KW/1.5KW/3KW可選
頻率：400K/2M/13.56M 可選
應用對象
該電源作為射頻驅動等離子體系統的電源，主要應用於半導體領域。應用對象包括：刻蝕、PECVD、PVD等系統
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產品性能
該射頻電源整體結構緊湊，設計體積更小便於安裝。設計采用固態設計使產品性價比更高、可靠性更強。
功率：600W/1KW/1.5KW/3KW可選
頻率：400K/2M/13.56M 可選
應用對象
該電源作為射頻驅動等離子體系統的電源，主要應用於半導體領域。應用對象包括：刻蝕、PECVD、PVD等系統
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