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整機功率密度高,支持連續波、脈衝、多級脈衝的工作模式;
可自定義配置脈衝信號,同時支持外部同步,響應速度快;
信號質量高;支持高速、高精度的調頻功能;
具有高功率精度、負載功率恒定、輔助點火等功能,穩定性高;
功率:1.5KW/3KW/6KW可選
頻率:2M/13.56M/27M/40M/60M可選
應用特征
該電源主要應用對象包括:刻蝕、ICP、光學鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應加熱及PECVD等系統。
版權所有:吉兆源科技有限公司
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王經理
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